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입자계수기[파티클카운터]의 이해
제목 입자계수기[파티클카운터]의 이해
작성자 김재현 (ip:)
  • 작성일 2015-11-24 13:41:54
  • 추천 추천 하기
  • 조회수 1049
  • 평점 0점

안녕하십니까. 오아시스테크 입니다.

 

입자계수기[파티클 카운터]의 이해를 돕기 위해 간단한 설명을 드립니다.

 

1. 입자수 정의

 

    .일반적으로 클린룸 (Clean Room) 관련 규정에서는 측정 단위를 1 m3 내의

     입자 수 (Particle / m3)로 정의합니다.

    .모니터링 시 정확한 측정을 위해 1 ㎥의 공기를 샘플링하도록 권고합니다.

    .예를 들어 유량이 1 CFM (=28.3 LPM)인 입자계수기로 1 m3 를 샘플링 하기

     위해서는 많은 시간이 소요되며, 높은 유량의 입자계수기가 필요합니다.

 

2. 클린룸 면적에 따른 측정

 

    .클린룸 면적이 증가할 수록 샘플링 위치가 많아지고, 따라서 샘플링 시간도

     증가합니다.

    .높은 유량의 입자계수기를 사용하면 ISO가 규정하고 있는 샘플링 부피를 더

     빠른 시간 안에 분석할 수 있습니다.

 

3. ISO 규정 - 클린룸 인증

 

     .ft당 입자수를 기준으로 하는 FS-209E로 부터 유래되었습니다.

     .대부분의 입자계수기의 유량이 1 CFM (=28.3 LPM)을 기준으로 보면,

 

                     ft3   x 35.31 = m3 당 입자수

 

     .이것은 샘플 부피와 시간을 고려해 입자 수를 분석할 때 중요한 요인이 됩니다.

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